在仪表布置安装时，根据不同仪表类型采用了不同的安装方式，具体如下：
（1）温度仪表
一体化铂热电阻温度变送器用于检测接收槽、冷凝器、加热器、凝结水槽、风机、送风管、蒸汽干管非放射性介质温度，通过增加的仪表安装螺纹接头，采用螺纹连接。对于管道安装时，需要根据管径的不同，需要考虑增加扩径管。热电阻、铂热电阻为泵和风机轴温测量仪表，属于设备自带仪表。
（2）压力、差压仪表
压力、压差检测仪表类型包括：压力、差压变送器、全不锈钢隔膜压力表、全不锈钢压力表。压力、差压变送器安装方式分为管装和墙装两类，根据所带支架和安装位置确定具体安装方式。就地压力仪表是各类泵出口压力就地检测，安装在手操工艺阀门附近，介质流速稳定，并便于观察的地方。
（3）液位仪表
液位检测仪表类型包括：吹气装置配差压变送器、电容式液位计、雷达物位仪、浮球液位仪表、远传磁翻板液位计仪表。吹气仪表测量液位，主要用于设备室液位测点场合，将检测仪表安装于设备室或热室外部，吹气管从吹气仪表穿墙弧形套管引至设备内液位检测点处，通过压空吹气仪表管向设备内吹气，进行非接触式测量。安装于外部的吹气装置和差压变送器进行墙装或在支架横梁安装。电容式、雷达、磁翻板液位计等杆式液位计仪表用于非放介质，贮槽已预留仪表管接口，使用仪表带安装法兰和附件直接将仪表安装于设备接口即可。
（4）流量仪表
流量检测仪表包括：涡街流量计、涡轮流量计、电磁流量计、金属管浮子流量计、热导式质量流量计、节流式流量计。涡街流量计用于压空管道、蒸发器、蒸汽管道、风机、废液贮槽等设备的流量测量，与管道一体安装。涡轮流量计用于去离子水的液体流量测量，与管道一体安装。电磁流量计用于测量各类化学介质的流量，与管道一体安装。金属管浮子流量计用于压空喷射器、压空管道等设备的介质流量检测，与管道一体安装。热导式质量流量计用于通风系统的排风流量检测，由于厂房布置等因素，在流量测量时，直管段难以完全满足流量计在保证精度下的安装要求，此问题可在后期调试的标定时进行一定程度的弥补。
（5）调节阀
工艺系统调节阀均为气动单座薄膜调节阀，其余系统的调节阀为各工艺选型的电动调节阀，安装可根据各工艺或厂家提供文件进行安装。
